川崎工場

国内・海外からの高品質なニーズに対応する
首都圏の製造拠点です。

特徴

半導体用材料ガスを製造する「半材ガス棟」、およびJCSS零位調整用ガスや高々圧ガスなどを製造する「特殊ガス棟」の2施設が稼動しています。
近年、国内および海外の半導体メーカー様から高品質なSiH₂Cl₂（ジクロロシラン）、COS（硫化カルボニル）への需要が高まり、ハイレベルなニーズにお応えするため特殊ガスの生産体制を増強しました。
なお、ジクロロシランおよび硫化カルボニルは大陽日酸グループ内で川崎工場のみが扱っています。

主な取り扱い製品

・硫化カルボニル（シリコンプロセスのエッチング用）
・ジクロロシラン（シリコン半導体の材料ガス）
・高純度ガス（ゼロガス、キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
・混合ガス（電球封入、還元試験、放射線測定用など）
・高々圧ガス

TOPIC

JCSS標準ガスの登録事業所

JCSSによる標準ガス（零位調整標準ガス）の製造認定工場です。小山工場で製造した特定二次標準ガスをもとに、不純物値を決定して供給しています。

GW製品（純ガス、標準ガス）

自動車の排出ガス・燃費規制の国際基準 「WLTC」 「WHDC」に適合した「GW製品」（純ガス、標準ガス）のシリーズ製品を、小山工場との連携体制で製造・供給しています。

神奈川県環境保全功労者・工業保安功労者表彰

高圧ガスの保安に関して長年の功績が認められ、2017年7月に受賞しました。

半材ガス棟

ジクロロシランおよびCOS製造の国内最大規模プラント

原料受入

充填

分析

容器置場

特殊ガス棟

JCSS零位調整標準ガスの国内最大規模となる製造工場

容器置場

充填

分析