工場紹介
北九州工場
アジア圏、九州・中国・四国エリアを中心に
高品質な特殊ガスを供給する製造拠点です。
特徴
主に台湾、韓国、中国などの海外圏および九州、中国・四国地域への特殊ガスの製造・供給拠点として活動している工場です。
これまでのわが国の半導体産業の発展を支え、研究機関から大規模ライン工場まで、1本から大量ロットまで、フレキシブルに対応してきました。
近年はニーズの高いB2H6（ジボラン）、PH3（ホスフィン）の製造設備を増強するなど、供給体制をより強化しています。
主な取り扱い製品
・高純度ガス （キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
・半導体材料ガス（ドーピング、エピタキシャル、フィルミング、クリーニング、エッチング用など）
・混合ガス（金属熱処理用、鉄鉱石の還元試験用、溶断用、レーザ発振用など）
TOPIC
保税蔵置場
高圧ガス保安法に基づくガスの貯蔵機能と、通関手続き機能（門司税関から認可）を併せもつ蔵置場（面積350m2超）です。海外からの大量需要にもタイムリーに出荷できます。
原料受入
原料ヤード
扱い量の多い原料ガスは大型バルク容器で受入します。受入後は圧縮〜精製〜高圧貯蔵の工程を経て、高圧配管で各充填室に送り、高効率な生産を実現しています。
ベースガス自動分析計
受入後のベースガス（N2、Ar、He、H2）は不純物（CO、CO2、CH4）の含有率などを徹底的に分析・検査します。弊社独自の厳しい基準をクリアしたガスのみが使用されています。
充填
B2H6充填架台
容器内面の特殊処理に加え、残ガス放出から真空引き、充填まで最高レベルの品質評価基準で製造しています。
分析・検査
分析ルーム
高精度標準ガスを基準に分析計の校正管理を厳密に行い、各ガス別に専用分析計を設置して高感度分析をします。製品はすべて不純物、混合組成などを分析・検査してから出荷します。また、PH3、B2H6などの半導体材料ガスについては、自動分析計にて混合組成を検査しています。
バルク供給
CF4カードル供給
大量のガスを使用されるお客様には、大規模供給用の特殊カードルに充填した製品（CF4、CO、He、Arなど）で供給いたします。
容器管理
容器置場
各種特殊ガス容器は、ガス種別、供給先毎に保安・品質を維持した上で保管管理しています。また、低温管理が求められるB2H6は専用保冷ルーム内で温度管理をしています。
