製品情報
高純度ガス
特定の不純物が一定濃度以下で保証された固有の性質を持つ単成分の圧縮ガスおよび液化ガスです。
He、N2、Ar、H2などの純ガスは、酸化、燃焼の防止や分析機器の校正用、キャリアガス、プラズマの発生、半導体製造プロセスの酸化材や希釈など多岐にわたる用途でご利用いただいております。
主な高純度ガス製品
O2、N2、Ar、Air、H2、He、CO2、CO、CH4、Ne、Kr、Xe
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（高純度ガスカタログ）
