製品情報

半導体材料ガス

半導体材料ガスは、IC、メモリなどの微細な半導体回路の形成、液晶ディスプレイ、太陽電池、LEDの製造など、幅広い用途に使用されています。
当社ではこうした幅広いご要望にお応えして、さまざまな半導体材料ガスを取り扱っております。

主な半導体材料ガス製品

SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、GeH4、Si2H6、WF6、NH3、NF3、COSなど

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